VOD (VACUUM OXYGEN DECARBURIZATION)是一种确保不锈钢质量的制造工艺，它在很大程度上依赖于在工艺的各个阶段对流体成分的快速和精确测量。
ProC-TOF在线质谱仪系统提供的实时分析使 VOD 流程能够优化效率和产品质量。
在线质谱仪的作用：
最大限度地增加氧气流量，使钢中剩余的碳转化为一氧化碳和二氧化碳停止氧气流并增加真空，以便在正确的时间从钢水中去除溶解的气体
ProC-TOF工业过程质谱仪可在不牺牲分析精度的情况下快速识别每个 VOD 阶段的结束。
在二级钢生产过程中，以钢铁在真空中氧气除碳为例，这个方法可以用来制造高品质的低碳钢，比如不锈钢。初始状态，熔液被置于1毫巴的真空环境下，此时，将氧气吹入熔液，并将氩气从设备底部注入，最终达到清除杂质的目的。
同样氦气也可以用相同的方法清除，由质谱仪来实施全程监控清除杂质的过程。
VOD和RH是二次炼钢过程生产特种钢，在真空状态下，碳被降低到极低的水平(<0.01%)的同时保证不氧化铬。
由于此过程在真空状态下，过程质谱的进样系统需在宽的压力范围下运行：包含阀和电容监测器使得具有恒定压力的气体进入离子源以保证灵敏度和线性度。
同AOD过程一样，采用过程质谱的好处在于能精确地判断脱碳的终点。因此产出的钢的含碳量的波动更小：
用户对使用过程质谱的研究报告表明仅用3-5个月的时间便可回报过程质谱的投资。