化工园区排放的SO2、NO2、CO等碳氧化合物以及碳、氢结合的碳氢化合物，通过呼吸道进入人的体内，会严重危害人的健康。酸性污染物和SO2、NO2等，还会对工业材料、设备和建筑设施的腐蚀，给精密仪器、设备的生产、安装调试和使用带来的不利影响。
此外，工业生产过程中，各项数据的监测与调控尤为重要。对过程变化进行在线实时监控，检测特定化学物质或者物理状态，得到反应状态、均匀性、浓度等过程信息，可以有效优化生产环节，提高产品质量与数量，从而达到降低能耗、节省材料等目的。
以乙烯裂解炉来举例(见图9)，乙烯是工业产品生产常用的原材料，其本身也是重要的石化产品，由碳氢化合物在高温低压下裂解生成。乙烯裂解的原料为轻质油，裂解产生的裂解气成分为氢气、氮气、氧气、一氧化碳、二氧化碳等不凝气体以及C1~C6组成的烃类等。裂解气组分分析对工艺的参数控制和调节有着重要意义，其中乙烯收率是衡量裂解深度、能力、效率的重要标志，在对其进行准确测量时尤为重要。
工业制环氧乙烷生产线流程可布置质谱仪采样点(上)，工业制乙烯在线动态采样获得数据比较(下)
挥发性化学产品(VCP) 排放增强臭氧并调节城市化学除了工业排放，我们所使用的日常生活使用的挥发性化学产品(VCP：volatile chemical products，例如香水、化妆品，洗涤剂等日常家庭用品)，也是城区大气挥发性化学污染物的重要来源之一。
ProC-TOF质谱仪的移动实验室更加系统性的研究了VCP与交通源以及市区人口密度之间的相互关系。
ProC-TOF可以清楚的展示在上千公里的走航监测数据，各城市周边区域内人为VOCs浓度，污染物不仅仅来自于市区常见的交通源(如苯和其他芳香烃)和日用品指标物D5-硅氧烷(常见的护肤品添加剂)，同时还有单萜类物质。后者一般来自于植被排放，同时也是日用品中的常规香味添加剂。
有毒挥发性有机物(VOC)的泄漏的监测：
只要化学品生产装置存在，就存在有毒挥发性有机物泄漏的潜在危险。有各种形式的捕获装置包括真空罐(苏玛罐)、可挥发性有机物报警器或吹扫和捕获装置。收集到的样品需要送往环境实验室进行分析。
目前，很多企业用电化学传感器来即时显示是否存在浓度超过预定水平的目标分子，还有一种定量方法是使用开路式傅利叶变换红外光谱仪测定VOC是否在警戒线以内，这些技术都不能提供满足较高的时间和空间的分辩率。
ProC-TOF环境在线质谱仪：环境质谱仪能够在20分钟以内监测100个以上的取样点，并在0.01至1ppm精度范围内检测特定物质。凭借其速度和精度，它可监测所有关键区域的短时泄漏，并提供准确的8小时、时间加权平均接触数据。
检测物：检测极限从0.01-1PPM，检测物包括：
丙酮、乙腈、丙烯腈苯、丁二烯、二硫化碳、四氯化碳、氯仿、氯苯、环己烷、二氯甲烷、二甲乙酰胺(DMAC)、二甲基甲酰胺(DMF)、二恶烷、环氧氯丙烷、乙苯、环氧乙烷、氟利昂、六甲基二硅烷、氰化氢、溴甲烷、甲基乙基酮、碘甲烷、甲基异丁基酮、甲基丙烯酸甲酯、1-甲基-2-吡咯烷酮、甲基叔丁基醚(MTBE)、环氧丙烷、异丙醇-2-醇、苯乙烯、四氢呋喃、四氯乙烯、甲苯、三氯乙烯、醋酸乙烯、乙烯基溴化、氯乙烯、二甲苯等